[实用新型]用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置有效
| 申请号： | 200920045334.5 | 申请日： | 2009-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN201406463Y | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 廖良生;李述汤 | 申请（专利权）人： | 苏州大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陶海锋 |
| 地址： | 215123江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置，包括蒸镀容器和加热器，所述加热器的中心部位设有至少一个长条状加热片；所述蒸镀容器的底部向上凸起形成与所述长条状加热片配合的导热槽。本实用新型大大提高了热能的利用率，并大大降低了设备的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空 蒸发 镀膜 设备 加热 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于真空线源蒸发镀膜设备的加热装置，包括蒸镀容器(1)和加热器(2)，其特征在于：所述加热器(2)的中心部位设有至少一个长条状加热片(4)；所述蒸镀容器的底部向上凸起形成与所述长条状加热片(4)配合的导热槽(3)。
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