[实用新型]硅片鼓泡清洗装置无效
申请号: | 200920049115.4 | 申请日: | 2009-10-14 |
公开(公告)号: | CN201529636U | 公开(公告)日: | 2010-07-21 |
发明(设计)人: | 苏世杰 | 申请(专利权)人: | 无锡尚德太阳能电力有限公司;洛阳尚德太阳能电力有限公司 |
主分类号: | B08B3/10 | 分类号: | B08B3/10;H01L31/18 |
代理公司: | 无锡市大为专利商标事务所 32104 | 代理人: | 曹祖良 |
地址: | 214028 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及光伏电池制造领域,特别涉及太阳电池制造过程中的硅片鼓泡清洗装置,所述清洗装置包括设置在清洗槽的槽底的通气管,通气管上侧壁开设有多个出气孔,在通气管上连接有进气管,所述通气管布置呈“口”字形,通气管的直径为3.1~3.3mm。与现有技术相比本实用新型能够形成小而均匀的气泡,因此清洗硅片时碎片率更小、清洗效果更好、清洗时间缩短较为节水,而且结构简单安装方便。 | ||
搜索关键词: | 硅片 清洗 装置 | ||
【主权项】:
一种硅片鼓泡清洗装置,包括设置在清洗槽(1)槽底的通气管(2),在通气管(2)上开设有多个出气孔(3),在通气管(2)上连接有进气管(4),其特征是:所述通气管(2)呈“口”字形设置。
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