[实用新型]Z80单晶炉石墨系统有效
申请号: | 200920049596.9 | 申请日: | 2009-10-20 |
公开(公告)号: | CN201501938U | 公开(公告)日: | 2010-06-09 |
发明(设计)人: | 谢瑞庆 | 申请(专利权)人: | 南京中锗科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B15/14 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 张苏沛 |
地址: | 211165*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种Z80单晶炉石墨系统,它包括主加热器、辅助加热器、隔热板,所述主加热器和辅助加热器由隔热板把炉底相隔开,它还包括石英支撑管,所述石英支撑管按主加热器和辅助加热器瓣数开槽防止短路;所述隔热板是一种可调节高度的隔热板。上述的Z80单晶炉石墨系统,还包括底部为圆弧状的带配重石墨浮埚,以及与其配套使用的带排气孔的石墨埚杆。本实用新型化料速度快,单晶外形好控制,使用浮埚解决了料面有大量浮渣问题。 | ||
搜索关键词: | z80 单晶炉 石墨 系统 | ||
【主权项】:
一种Z80单晶炉石墨系统,它包括主加热器、辅助加热器、隔热板,所述主加热器和辅助加热器由隔热板与炉底相隔,其特征在于,它还包括石英支撑管,所述石英支撑管按主加热器和辅助加热器瓣数开槽防止短路。
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