[实用新型]一种显微成像高精度三维检测装置

摘要

本实用新型涉及一种显微成像高精度三维检测装置，包括计算机系统和显微镜，并在所述显微镜上加装数字CCD图像传感器和光栅尺，并将其与及计算机系统相连接，在显微镜光源和载物台之间加装光学梯度衰减片和控制机构，提高检测系统的清晰度和精度，为激光束精细加工、集成电路及生物医学检测等提供更高水平的检测手段。

主权项

1、一种显微成像高精度三维检测装置，包括显微成像系统、载物平台、显微镜光源、电机、计算机系统，其特征在于，还包括梯度衰减片、光栅尺和CCD图像传感器，显微成像系统正下方为载物平台，被测器件放在载物平台上，在载物平台和下方的显微镜光源之间有梯度衰减片，载物平台由电机驱动，光栅尺安装在显微成像系统的调焦机构中，光栅尺与计算机系统连接，将Z轴位移信息送入计算机系统，计算机系统与电机控制连接，CCD图像传感器与显微成像系统连接，并通过图象采集卡与计算机系统连接。