[实用新型]全息凹面光栅曝光衍射效率实时监测系统无效
| 申请号： | 200920068533.8 | 申请日： | 2009-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN201364396Y | 公开（公告）日： | 2009-12-16 |
| 发明（设计）人： | 皮道锐;黄元申;张大伟;夏俊;倪争技;夏纪朝;庄松林 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18;G03F7/00;G01J3/18 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种全息凹面光栅曝光衍射效率实时监测系统包括He-Ne激光器、全息凹面光栅、凸透镜、带串口连接的光功率计、计算机、He-Cd激光，通过实时监测全息凹面光栅曝光时的负一级的衍射光光强来控制全息凹面光栅制作过程中曝光的最佳曝光量，达到制作完成后的全息凹面光栅具有最佳负一级衍射效率的目的。具有光强利用率高，装置简单，容易拆卸，没有复杂的光路调节的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 全息 凹面 光栅 曝光 衍射 效率 实时 监测 系统 | ||
【主权项】：
1、一种全息凹面光栅曝光衍射效率实时监测系统，包括He-Ne激光器、凸透镜、带串口连接的光功率计、计算机、He-Cd激光，其特征在于，在一个由He-Cd激光作为全息凹面光栅光源的曝光光路中，将He-Ne激光监测光源，凸透镜，全息凹面光栅中心放置在一条直线上，且平行于水平面，带串口连接的光功率计接收监测光源He-Ne激光经凸透镜扩束后在全息凹面光栅衍射聚焦后的负一级衍射光的光强，并将光强信号送入计算机处理，得出衍射效率的变化曲线。
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