[实用新型]用于清理开槽磨片机上沟槽的装置有效
| 申请号： | 200920071345.0 | 申请日： | 2009-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN201405264Y | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 栾兴伟;洪羿达;李强 | 申请（专利权）人： | 上海合晶硅材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/007 | 分类号： | B24B53/007;B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201617*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于清理开槽磨片机上沟槽的装置，该装置包括支架，安装于支架一端的手柄以及卡持于支架另一端的滚轮。本实用新型用滚动摩擦替代滑动摩擦，减小清理磨盘沟槽阻力，同时进行人性化设计增加该装置美观和易把持特性，提高该装置寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清理 开槽 磨片机上 沟槽 装置 | ||
【主权项】：
1.用于清理开槽磨片机上沟槽的装置，其特征在于：该装置包括支架(2)，安装于支架(2)一端的手柄(1)以及卡持于支架(2)另一端的滚轮(4)。
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