[实用新型]应用于涂敷显影装置的显影罐有效
| 申请号： | 200920072527.X | 申请日： | 2009-05-19 |
| 公开（公告）号： | CN201438260U | 公开（公告）日： | 2010-04-14 |
| 发明（设计）人： | 刘景华;胡晓明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种应用于涂敷显影装置的显影罐，所述显影罐上设有供显影溶液流入的入口和供显影溶液流出的出口，在显影罐的一侧设有一水位管，所述水位管自下而上依次设有若干传感器，所述水位管的下端通过一连接管与所述显影罐侧壁的下部接口连通，所述连接管与显影罐的接口位置比所述连接管与水位管的接口位置高。本实用新型将现有水位管下端与显影罐之间的水平方向的连接管改装成本实用新型所述形式，可以避免显影罐内显影溶液中气泡流入水位管而引起传感器错误判断，以致系统触发警报器及锁定装置，使得整个工艺生产线停顿。同时也有效避免晶圆由于过长时间处在潮湿的酸性环境中易被侵蚀的风险。提高了生产效率，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 应用于 显影 装置 | ||
【主权项】：
一种应用于涂敷显影装置的显影罐，所述显影罐上设有供显影溶液流入的入口和供显影溶液流出的出口，在显影罐的一侧设有一水位管，所述水位管自下而上依次设有若干传感器，所述水位管的下端通过一连接管与所述显影罐侧壁的下部接口连通，其特征在于：所述连接管与显影罐的接口位置比所述连接管与水位管的接口位置高。
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