[实用新型]金属电镀阴极旋转装置有效
申请号: | 200920072534.X | 申请日: | 2009-05-19 |
公开(公告)号: | CN201459272U | 公开(公告)日: | 2010-05-12 |
发明(设计)人: | 王振荣;黄利松;黄春杰 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/08 | 分类号: | C25D17/08;C25D5/04 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 脱颖 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种金属电镀阴极旋转装置,金属电镀阴极旋转装置由驱动器、上联轴器、下联轴器、伸缩连杆、石墨电刷和阴极夹具构成,驱动器固定于机座上,机座设置于基板上,驱动器输出轴与水平面呈一定夹角,驱动器输出轴与上联轴器紧固连接,下联轴器与上联轴器紧固连接成一体,下联轴器与上联轴器之间设置有绝缘板,伸缩连杆下端与阴极夹具固定相连,石墨电刷通过刷座与下联轴器紧密配合,石墨电刷与阴极夹具之间有可靠的电连接。本实用新型在金属电镀阴极旋转装置中设置驱动器在电镀过程中带动阴极转动,消除电镀过程产生的气泡对电镀过程的不利影响,同时设置可伸缩连杆和标尺,可以按实际需要调整连杆的长度,提高电镀效率和电镀质量。 | ||
搜索关键词: | 金属 电镀 阴极 旋转 装置 | ||
【主权项】:
一种金属电镀阴极旋转装置,由驱动器、上联轴器、下联轴器、伸缩连杆、石墨电刷、阴极夹具、机座和基板构成,其特征在于:所述的驱动器固定在所述的机座上,机座设置在所述的基板上,驱动器的输出轴与水平面呈0到90度之间的夹角,驱动器的输出轴与所述的上联轴器连接,所述的下联轴器与上联轴器连接,下联轴器与上联轴器之间设置有绝缘板,所述的石墨电刷通过刷座与下联轴器接触,所述的伸缩连杆的上端与下联轴器连接,伸缩连杆的下端与所述的阴极夹具固定连接,石墨电刷与阴极夹具之间设置有电连接。
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