[实用新型]瀑布式层流蚀刻切割装置无效
| 申请号： | 200920075250.6 | 申请日： | 2009-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN201495175U | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 严立巍;周旭 | 申请（专利权）人： | 上海仪捷光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C15/00 | 分类号： | C03C15/00;C03B33/02 |
| 代理公司： | 上海天翔知识产权代理有限公司 31224 | 代理人： | 吕伴 |
| 地址： | 201300 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的瀑布式层流蚀刻切割装置，其主要包含可调整成角度为0-85°倾斜状的载台、在载台表面上的凸状物，以及蚀刻溶液释放器。在操作时，主要使玻璃基板呈现倾斜状态，且由蚀刻溶液释放器的凹槽溢出的蚀刻溶液，利用瀑布般自然流下方式均匀地流经摆放在该载台上的玻璃基板，使玻璃基板被均匀地蚀刻薄化或将贴有形状各异保护膜的晶粒切割下来。这样，基于倾斜状态的玻璃基板，使得蚀刻玻璃基板所产生的生成物，将随着剩余的蚀刻溶液一起顺着该玻璃基板的倾斜方向流下。 | ||
| 搜索关键词： | 瀑布 层流 蚀刻 切割 装置 | ||
【主权项】：
瀑布式层流蚀刻切割装置，用以蚀刻或切割玻璃基板，该蚀刻切割装置包含：一载台，该载台可在0-85°之间自由调整，使得放置在其上的玻璃基板4也随之呈现0-85°倾斜；一蚀刻溶液释放器，放置在该载台的上方，并具有储存蚀刻溶液的长条状凹槽；其中，由蚀刻溶液释放器的凹槽溢出的蚀刻溶液可自然流下，而均匀地流经摆放在该载台上的玻璃基板。
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