[实用新型]硅片夹持装置有效
| 申请号： | 200920076831.1 | 申请日： | 2009-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN201423579Y | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 罗圣华;冒飞;杨晟远 | 申请（专利权）人： | 上海申和热磁电子有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;B81C99/00;B81C1/00;B81B7/02 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 王 洁 |
| 地址： | 200444上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片夹持装置，包括夹持主体和与该夹持主体相连接的夹持头部，其特征在于，所述的夹持头部包括与夹持主体相连接的伸缩杆，所述的伸缩杆末端设置有夹头，所述的夹头与夹持主体之间形成有夹持空间。采用该种结构的硅片夹持装置，避免接触硅片的两个抛光面，仅接触硅片边缘的倒角面，所用材质不会引入颗粒、金属等污染物，在夹持双面抛光硅片时不会在抛光面上留下吸笔痕迹，也不会有任何污染产生，不仅能够满足双面抛光硅片的生产工艺需要，同时也能够直接使用在单面抛光硅片的生产工艺中，而且作业方便，操作简单方便，夹持稳定牢固，结构简单实用，适用范围较为广泛，为半导体加工工艺的进一步改进和质量优化奠定了坚实的基础。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 夹持 装置 | ||
【主权项】：
1、一种硅片夹持装置，包括夹持主体和与该夹持主体相连接的夹持头部，其特征在于，所述的夹持头部包括与夹持主体相连接的伸缩杆，所述的伸缩杆末端设置有夹头，所述的夹头与夹持主体之间形成有夹持空间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海申和热磁电子有限公司，未经上海申和热磁电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920076831.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：基于嵌入式电力系统谐波分析仪
- 下一篇：便携电磁屏蔽箱
