[实用新型]机械手有效
| 申请号： | 200920078366.5 | 申请日： | 2009-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN201437246U | 公开（公告）日： | 2010-04-14 |
| 发明（设计）人： | 贺俊 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;成都成芯半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;B25J15/06;B81C5/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种机械手，包括手臂和吸附面，所述手臂和所述吸附面枢接，所述吸附面上有多个吸附点，通过所述多个吸附点和晶片背面接触吸附所述晶片，所述吸附点相对于所述吸附面凸出设置。本实用新型机械手的吸附点相对于吸附面为凸出部件，这样避免了吸附面和晶片背面直接接触，从而防止了晶片背面被刮伤。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 | ||
【主权项】：
一种机械手，包括手臂和吸附面，所述手臂和所述吸附面枢接，所述吸附面上有多个吸附点，通过所述多个吸附点和晶片背面接触吸附所述晶片，其特征在于：所述吸附点相对于所述吸附面凸出设置。
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