[实用新型]多晶硅还原炉

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅还原炉，包括有炉罩，底盘，多晶硅硅棒，进料管和喷头。炉罩安装在底盘上，底盘上安装有一组或几组多晶硅硅棒，同时底盘上还设有与底盘下部的进料管连通的喷头，喷头为三个或三个以上。本实用新型解决了现有的多晶硅还原炉采用单管喷射式，而造成硅棒沉积不均匀且厚而不彻底，收率低的问题。其结构简单，还原速度大大提高的同时也大大提高了吸收率。

主权项

1.一种多晶硅还原炉，包括有炉罩(1)、底盘(2)、多晶硅硅棒(3)、进料管(4)、出料管(5)和喷头(6)，其特征在于：所述炉罩(1)安装在底盘(2)上，底盘(2)上安装有一组或几组多晶硅硅棒(3)，同时底盘(2)上还设有与底盘下部的进料管(4)和出料管(5)相连通的喷头(6)，且喷头(6)为三个或三个以上。