[实用新型]用于玻璃离子注入机的离子源无效
| 申请号： | 200920088827.7 | 申请日： | 2009-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN201358213Y | 公开（公告）日： | 2009-12-09 |
| 发明（设计）人： | 赵霞;王志坚;郭乃冬;申伟 | 申请（专利权）人： | 河南华美新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C03C21/00 | 分类号： | C03C21/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454493*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型用于玻璃离子注入机的离子源，由离子形成区和引出区两部分组成，离子形成区由相互之间绝缘的阴极、阳极和绝缘套组成，阴极的前端为触发极，做成圆筒状，安装在阴极周围，位于阴极和阳极之间，阴极为圆筒，由需要注入离子的金属制成，阴极的后部设置一阴极推动机构，用来推动阴极向前进。该离子源能产生广泛的离子种类，较大的束流强度，特别适合玻璃的离子注入，同时，通过阴极推进机构，不断地补充消耗的阴极材料，延长了单个电极的寿命，减少了阴极更换次数，提高了效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 玻璃 离子 注入 离子源 | ||
【主权项】：
1、用于玻璃离子注入机的离子源，由离子形成区和引出区两部分组成，其特征是：所述离子形成区由相互之间绝缘的阴极、阳极和绝缘套组成，阴极的前端为触发极，做成圆筒状，安装在阴极周围，位于阴极和阳极之间。
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