[实用新型]一种磁控溅射生产线机械传动装置

摘要

本实用新型涉及一种太阳能电池生产中对太阳能电池进行磁控溅射溅镀背电极时在设备内的传动装置，具体的说是一种磁控溅射生产线机械传动装置。该传动装置包括机械手、上片台、运载小车、导轨、沉积舱室、下片台，所述的导轨构成一个矩形回路，其中上片台设置回路中A方向和D方向的交界处，多个沉积舱室设置在B方向的导轨上，运载小车被设置在导轨上，下片台设置在回路中C方向和D方向的交界处，所述的上片台和下片台上设置有机械手。本实用新型由于采用上述结构，使得磁控溅射机械的传动更加稳定，具有结构简单、使用方便等优点。

主权项

一种磁控溅射生产线机械传动装置，其特征在于：该传动装置包括机械手(1)、上片台(2)、运载小车(3)、导轨(4)、沉积舱室(5)、下片台(6)，所述的导轨(4)构成一个矩形回路，其中上片台(2)设置回路中A方向和D方向的交界处，多个沉积舱室(5)设置在B方向的导轨上，运载小车(3)被设置在导轨(4)上，下片台(6)设置在回路中C方向和D方向的交界处，所述的上片台(2)和下片台(6)上设置有机械手(1)。