[实用新型]一种TCO镀膜设备中的进气控制装置有效
| 申请号： | 200920095014.0 | 申请日： | 2009-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN201567367U | 公开（公告）日： | 2010-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张继泽;刘万学;张兵;王巍;强艳建;李宇;王阳 | 申请（专利权）人： | 吉林庆达新能源电力股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/54 |
| 代理公司： | 吉林省长春市新时代专利商标代理有限公司 22204 | 代理人： | 石岱 |
| 地址： | 136001 *** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种太阳能电池生产中的进气控制装置，具体的说是一种TCO镀膜设备中的控制气体进气流量的装置。该进气控制装置包括通气管路、温度探棒、加热探棒、电磁阀、PLC控制器，所述的温度探棒、加热探捧和电磁阀设置在进气管内，温度探棒、加热探捧和电磁阀与PLC控制器电连接。本实用新型由于采用上述结构和独特的控制方法，使控制气体的进气量能够更加精确，控制方便，便于对工艺参数的调节。达到了对生产线对进气控制的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tco 镀膜 设备 中的 控制 装置 | ||
【主权项】：
一种TCO镀膜设备中的进气控制装置，其特征在于：该进气控制装置包括通气管路(1)、温度探棒(2)、加热探棒(3)、电磁阀(4)、PLC控制器(5)，所述的温度探棒(2)、加热探捧(3)和电磁阀(4)设置在进气管内，温度探棒(2)、加热探捧(3)和电磁阀(4)与PLC控制器(5)电连接。
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