[实用新型]一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体

摘要

本实用新型提供了一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体。它包括炉壳、炉底、炉盖、坩埚、支撑棒、发热体和保温结构，保温结构由坩埚盖、上隔热屏、下隔热屏、多层保温筒、保温填料、耐火砖、金属筒组成，本实用新型采用鸟笼结构钨发热体，有利于提供均匀稳定的温场，并保证其内部温度场分布为底部温度高于上端温度，边缘温度高于中心温度，轴向和径向温度梯度小，符合冷心放肩微量提拉法对于温场分布的要求。本实用新型采用冷心放肩微量提拉法，具有温场分布均匀稳定、轴向和径向温度梯度都比较小，保温效果好等特点。

主权项

1、一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体，它包括炉壳、炉底、炉盖、坩埚、支撑棒、发热体和保温结构，坩埚通过支撑棒设置在炉底上，发热体设置在坩埚外围，其特征在于保温结构包括坩埚盖、上隔热屏、下隔热屏、多层保温筒、保温填料、耐火砖和金属筒，坩埚盖设置在坩埚上，上隔热屏设置在坩埚盖上，耐火砖设置在炉底，下隔热屏设置在发热体下方，多层保温筒设置在金属筒内，多层保温筒与金属筒之间设置有保温填料。