[实用新型]半导体专用设备用绕线轮装置无效
| 申请号： | 200920104636.5 | 申请日： | 2009-09-11 |
| 公开（公告）号： | CN201483658U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 王仲康;衣忠波;杨生荣;袁立伟 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
| 主分类号： | B28D5/04 | 分类号： | B28D5/04;H01L21/02 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 065201 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体专用设备用绕线轮装置，它包括主轴、导轮、隔套、两个轴承和防尘盖，所述两个轴承设于主轴和隔套之间，两个轴承之间设有内隔圈和外隔圈，外侧轴承设有与隔套固定的轴承外套压盖和设有靠锁母锁定的轴承内套压盖，锁母与主轴螺纹连接，导轮和防尘盖均与隔套固定，主轴上设有气封气道。本实用新型是一种结构简单实用、使用方便和密封性好，安全可靠的绕线轮装置。防尘盖和轴承外套压盖的分体设计，提高了整个装置的可靠性和安全性能。本实用新型特别适用于对晶片进行加工的半导体专用设备。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 专用 备用 绕线轮 装置 | ||
【主权项】：
一种半导体专用设备用绕线轮装置，它包括主轴(2)、导轮(5)、隔套(4)、两个轴承(6)和防尘盖(7)，所述两个轴承(6)设于主轴(2)和隔套(4)之间，两个轴承(6)之间设有内隔圈(11)和外隔圈(12)，外侧轴承(6)设有与隔套(4)固定的轴承外套压盖(8)和设有靠锁母(10)锁定的轴承内套压盖(9)，锁母(10)与主轴(2)螺纹连接，导轮(5)和防尘盖(7)均与隔套(4)固定，主轴(2)上设有气封气道(3)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所，未经中国电子科技集团公司第四十五研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920104636.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
