[实用新型]多片比较片换位机构有效
| 申请号： | 200920110200.7 | 申请日： | 2009-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN201459236U | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 陈月增;李红然;王红雪 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 102600 北京市大兴工*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种多片比较片换位机构。该多片比较片换位机构包括比较片筒、拨盘、重叠放置于比较片筒内的比较片、以及位于拨盘下方的比较片接收筒。本实用新型的多片比较片换位机构通过在比较片筒内重叠放置比较片使得比较片机构所占面积减小，且放置比较片的数量大大增加，从而使整个机构的直径大大缩小。这样，整个机构的尺寸减小可以使工件盘上可装载的被镀工件的有效面积增大，提高生产效率，而且可以提高薄膜监控的精度，并降低对硬件系统的要求，容易实现对系统的自动控制。 | ||
| 搜索关键词： | 比较 换位 机构 | ||
【主权项】：
一种多片比较片换位机构，包括比较片筒、拨盘、重叠放置于所述比较片筒内的比较片，以及位于所述拨盘下方的比较片接收筒。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北仪创新真空技术有限责任公司，未经北京北仪创新真空技术有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920110200.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种阴极复合涂层结构的面板
- 下一篇：观察窗机构
- 同类专利
- 专利分类
