[实用新型]烘烤电极有效
| 申请号： | 200920110302.9 | 申请日： | 2009-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN201459230U | 公开（公告）日： | 2010-05-12 |
| 发明（设计）人： | 汪光武;徐建龙;黄芃 | 申请（专利权）人： | 北京北仪创新真空技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 胡小永 |
| 地址： | 102600 北京市大兴工*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种烘烤电极。该烘烤电极包括电极杆、放置所述电极杆的绝缘座、安装于所述绝缘座底部的法兰，所述烘烤电极还包括绝缘套，其罩住所述电极杆及绝缘座上部暴露于真空镀膜室中的部分。本实用新型的烘烤电极通过在电极杆两端设置螺纹，在螺纹上安装螺母及垫圈，实现了导线与电极杆可靠连接；通过在电极杆暴露于真空镀膜室的部分包裹绝缘套，避免了该导线与其它电极上的导线接触或将绝缘座与电极杆连接部分蒸镀上导电材料造成短路。 | ||
| 搜索关键词： | 烘烤 电极 | ||
【主权项】：
一种烘烤电极，其包括电极杆、放置所述电极杆的绝缘座、安装于所述绝缘座底部的法兰，其特征在于，所述烘烤电极还包括绝缘套，其罩住所述电极杆暴露于真空镀膜室中的部分及绝缘座上部。
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