[实用新型]柔性随动高精度测量架系统无效
申请号: | 200920125415.6 | 申请日: | 2009-05-25 |
公开(公告)号: | CN201434669Y | 公开(公告)日: | 2010-03-31 |
发明(设计)人: | 胡列科 | 申请(专利权)人: | 贵阳新天光电科技有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 贵阳东圣专利商标事务有限公司 | 代理人: | 于俊汉 |
地址: | 550018贵*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 一种柔性随动高精度测量架系统,属于长度计量的精密测量架机构,由一套双弹性随动测头系统和一套柔性二次随动消振系统组成,测量头(1)通过双弹性随动测头系统安装于测量架上,测量头(1)的径向移动是无间隙的,过一套消间隙高精度导轨保证,光栅头(4)、激光反射镜(5)和测量头(1)是通过测量头座体(7)连接在一起的,和平行弹簧片(6)一起构成一套双弹性随动测头系统;光栅头(4)、导轨(9)和测量头(1)、测量头座体(7)之间通过弹片(8)组成一套柔性二次随动消振系统,本实用新型在水平面内,沿径向和轴向极大地消除振颤误差,在竖直平面内,极大地消除振颤误差,误差数据处理简单,制造工艺简单,加工成本低廉,可广泛用于各种丝杠检测仪的测量架机构中。 | ||
搜索关键词: | 柔性 高精度 测量 系统 | ||
【主权项】:
1.一种柔性随动高精度测量架系统,包括一套双弹性随动测头系统和一套柔性二次随动消振系统,其特征在于:测量头(1)通过双弹性随动测头系统安装于测量架上,测量头(1)的径向移动是无间隙的,通过一套消间隙高精度导轨保证,光栅头(4)、激光反射镜(5)和测量头(1)是通过测量头座体(7)连接在一起的,和平行弹簧片(6)一起构成一套双弹性随动测头系统;光栅头(4)、导轨(9)和测量头(1)、测量头座体(7)之间通过弹片(8)组成一套柔性二次随动消振系统。
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