[实用新型]用于微钻的扫描电镜检测的固定装置无效
| 申请号： | 200920130029.6 | 申请日： | 2009-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN201368824Y | 公开（公告）日： | 2009-12-23 |
| 发明（设计）人： | 杨凡;付连宇;王成勇 | 申请（专利权）人： | 深圳市金洲精工科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/36 | 分类号： | G01N1/36;G01N23/22 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 邢 涛 |
| 地址： | 518116广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置，其包括承载体；所述的承载体的底面水平，其表面设有垂直于底面的、向上方贯通的凹槽；所述的固定装置还包括设置在承载体的凹槽外侧的、向凹槽内的方向提供紧固力的固定件。由于要对微钻的钻尖部分进行检测，就必须保持钻头垂直于样品台，如有倾斜则不利于观察钻尖部分刃面完整的磨损形貌特征，而由于扫描电子显微镜的样品仓的空间是很小的，而且样品仓的载重也是有限的，现有技术中尚没有适合在扫描电镜检测过程中使用的供夹持微钻的固定装置。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 扫描电镜 检测 固定 装置 | ||
【主权项】：
1、一种用于微钻的扫描电镜检测的固定装置，其特征在于，包括由导电材料制成的承载体；所述的承载体的底面水平，其表面设有垂直于底面的、向上方贯通的凹槽；所述的固定装置还包括设置在承载体的凹槽外侧的、向凹槽内的方向提供紧固力的固定件。
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