[实用新型]硅电容麦克风有效
申请号: | 200920132249.2 | 申请日: | 2009-05-27 |
公开(公告)号: | CN201426176Y | 公开(公告)日: | 2010-03-17 |
发明(设计)人: | 颜毅林;葛舟 | 申请(专利权)人: | 瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
主分类号: | H04R19/04 | 分类号: | H04R19/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 213167*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种硅电容麦克风,包括设有空腔的基底、与基底相连的支撑层,设置在支撑层上的背板和振膜,背板与振膜相对设置,分别与背板和振膜耦合的第一电极和第二电极,背板上设有声孔,所述振膜位于基底和背板之间,在所述背板与振膜之间设置有防吸附装置。该硅电容麦克风降低了制造工艺的难度,批量生产成本低,同时,可以防止背板和振膜吸附在一起。 | ||
搜索关键词: | 电容 麦克风 | ||
【主权项】:
1、一种硅电容麦克风,包括设有空腔的基底、与基底相连的支撑层,设置在支撑层上的背板和振膜,背板与振膜相对设置,分别与背板和振膜耦合的第一电极和第二电极,背板上设有声孔,其特征在于:所述振膜位于基底和背板之间,在所述背板与振膜之间设置有防吸附装置。
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