[实用新型]硅电容麦克风有效

专利信息
申请号: 200920132249.2 申请日: 2009-05-27
公开(公告)号: CN201426176Y 公开(公告)日: 2010-03-17
发明(设计)人: 颜毅林;葛舟 申请(专利权)人: 瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司
主分类号: H04R19/04 分类号: H04R19/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213167*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供了一种硅电容麦克风,包括设有空腔的基底、与基底相连的支撑层,设置在支撑层上的背板和振膜,背板与振膜相对设置,分别与背板和振膜耦合的第一电极和第二电极,背板上设有声孔,所述振膜位于基底和背板之间,在所述背板与振膜之间设置有防吸附装置。该硅电容麦克风降低了制造工艺的难度,批量生产成本低,同时,可以防止背板和振膜吸附在一起。
搜索关键词: 电容 麦克风
【主权项】:
1、一种硅电容麦克风,包括设有空腔的基底、与基底相连的支撑层,设置在支撑层上的背板和振膜,背板与振膜相对设置,分别与背板和振膜耦合的第一电极和第二电极,背板上设有声孔,其特征在于:所述振膜位于基底和背板之间,在所述背板与振膜之间设置有防吸附装置。
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