[实用新型]二元布气管无效
| 申请号： | 200920135192.1 | 申请日： | 2009-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN201313933Y | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 徐日宏 | 申请（专利权）人： | 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518000广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种二元布气管，包括磁控溅射阴极的进气管、控制进气管流量的阀门，所述磁控溅射阴极的进气管的末端部分和中间部分各自采用独立的进气管分别供气。通过构建一种二元布气管，使磁控溅射阴极末端部分和中间部分都能更加均匀地进气，从而使反应溅射镀膜更加均匀。 | ||
| 搜索关键词： | 二元 气管 | ||
【主权项】：
1. 一种二元布气管，包括磁控溅射阴极的进气管、控制进气管流量的阀门，其特征在于：所述磁控溅射阴极的进气管的末端部分和中间部分各自采用独立的进气管分别供气。
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