[实用新型]镀膜生产线无效
| 申请号： | 200920135728.X | 申请日： | 2009-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN201305625Y | 公开（公告）日： | 2009-09-09 |
| 发明（设计）人： | 李星;徐日宏 | 申请（专利权）人： | 深圳市三鑫精美特玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35;C23C14/54;C23C14/56;C03C17/23 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所 | 代理人： | 胡吉科 |
| 地址： | 518000广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种镀膜生产线，其包括门阀、普通真空室和镀膜真空室，普通真空室和镀膜真空室是均为模块化设计的独立箱体，镀膜真空室包括连续设置的中频靶和直流靶。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜 生产线 | ||
【主权项】：
1. 一种镀膜生产线，包括门阀、普通真空室和镀膜真空室，其特征在于：普通真空室和镀膜真空室是均为模块化设计的独立箱体，镀膜真空室包括连续设置的中频靶和直流靶。
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