[实用新型]MEMS麦克风有效
| 申请号： | 200920136160.3 | 申请日： | 2009-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN201426177Y | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 吴志江;苏永泽 | 申请（专利权）人： | 瑞声声学科技(常州)有限公司;瑞声声学科技(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 213167*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及麦克风领域，具体指一种MEMS麦克风，将MEMS芯片设在带有进声孔的上盖板上，且芯片上的凹陷声腔正对应进声孔，与之贯通，这样声能从MEMS膜片的背面作用在MEMS芯片上，无疑扩大了MEMS芯片的背部声腔，有利于提高麦克风的频响性能和信噪比，改善器件整体性能。 | ||
| 搜索关键词： | mems 麦克风 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS麦克风，包括带进声孔的上盖板、一环绕并支撑上盖板的壳壁、一基板、其上安装专用集成电路ASIC芯片，所述的基板支撑壳壁和上盖板，且所组成的空腔内设有MEMS芯片，其特征在于：所述的MEMS芯片安置在上盖板上，MEMS芯片与上盖板基板面之间形成一个凹陷声腔，该凹陷声腔正对上盖板的进声孔，并与之贯通。
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