[实用新型]一种简易高精度六氟化硫气体浓度测量装置

摘要

本实用新型涉及一种简易高精度六氟化硫气体浓度测量装置。装置由CO₂激光器、原始功率测量光强探测器、空气输送泵、SF₆气体浓度测量光强探测器、气体分析室、光学全反射镜片器B、光学半波镜片器、光学全反射镜片器A构成，光束通过光学全反射镜片器B、光学半波镜片器、光学全反射镜片器A将器件相连。测量时，激光光束，经过光学全反射镜片器B全反射后，进入光学半波镜片器，半波镜片器将激光器射出的光束分为两束，一束到达原始功率测量光强探测器，作为激光器发射的原始功率测量，另一束到达SF₆气体浓度测量光强探测器，作为SF₆气体浓度测量。采用本实用新型装置，结构简单，消除了激光器输出的光谱功率变化对测量精度的影响。

主权项

1、一种简易高精度六氟化硫气体浓度测量装置，其特征是：装置由CO2激光器、原始功率测量光强探测器、空气输送泵、SF6气体浓度测量光强探测器、气体分析室、光学全反射镜片器B、光学半波镜片器、光学全反射镜片器A构成，CO2激光器发出的激光光束通过光学全反射镜片器B、光学半波镜片器、光学全反射镜片器A将器件相连；测量时，CO2激光器发出的激光光束，经过光学全反射镜片器B全反射后，进入光学半波镜片器，半波镜片器将激光器射出的光束分为两束，一束到达原始功率测量光强探测器，作为激光器发射的原始功率测量，另一束到达SF6气体浓度测量光强探测器，作为SF6气体浓度测量。