[实用新型]一种LCD曝光装置无效
| 申请号： | 200920138344.3 | 申请日： | 2009-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN201408325Y | 公开（公告）日： | 2010-02-17 |
| 发明（设计）人： | 俞其龙;黄应斌;丁振华 | 申请（专利权）人： | 厦门高卓立科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 厦门市诚得知识产权代理事务所 | 代理人： | 方惠春;刘 辉 |
| 地址： | 361100福建省厦门市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种曝光装置，尤其涉及一种LCD的曝光装置。本实用新型的LCD曝光装置，包括设置于其上的电源电路系统、光学系统和非接触式曝光平台，还包含有接触式曝光平台，接触式曝光平台设置于所述非接触式曝光平台上方。该接触式曝光平台包括盖板、菲林、玻璃片及承放平台，所述支架设于承放平台的上方；所述菲林粘贴于盖板底面上；所述玻璃片放置于承放平台上表面，还包括真空孔及真空开关，所述真空孔设于承放平台的表面。由于真空孔及真空开关的作用，吸附菲林与涂好光刻胶的玻璃片，使两者间的间隙为零，然后曝光作业，解决17um线宽线距等细线产品用菲林作为掩模版生产的工艺难题。并且由于掩模版由铬版转为菲林替代，节约了材料成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 lcd 曝光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种LCD曝光装置，包括设置于其上的电源电路系统、光学系统和非接触式曝光平台，其特征在于：还包含有接触式曝光平台，接触式曝光平台设置于所述非接触式曝光平台上方。
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