[实用新型]线结构光共焦扫描显微镜无效
申请号: | 200920141059.7 | 申请日: | 2009-07-11 |
公开(公告)号: | CN201489184U | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
发明(设计)人: | 萧泽新;韩文峰;王晓芬 | 申请(专利权)人: | 桂林电子科技大学 |
主分类号: | G02B21/00 | 分类号: | G02B21/00;G02B21/36;G02B21/24;G02B21/02 |
代理公司: | 桂林市华杰专利商标事务所有限责任公司 45112 | 代理人: | 孙伊滨 |
地址: | 541004 广*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种线结构光共焦扫描显微镜,包括图像采集系统、直线扫描系统和主支撑架,与现有技术不同的是:在图像采集系统与直线扫描系统之间设置有光学成像系统,该光学成像系统设置在主支撑架上,其分光镜与图像采集系统中的CCD相对应,物镜垂直设置在直线扫描系统中的载物台上方。所述的光学成像系统为被测细缝表面、细缝光源和探测细缝三者共轭的光学成像系统。本实用新型具有结构新颖、简单、成本较低、价格便宜、成像速度较快的优点。 | ||
搜索关键词: | 结构 光共焦 扫描 显微镜 | ||
【主权项】:
线结构光共焦扫描显微镜,包括图像采集系统、直线扫描系统和主支撑架(1),其特征在于:在图像采集系统与直线扫描系统之间设置有光学成像系统,该光学成像系统设置在主支撑架(1)上,其分光镜(13)与图像采集系统中的CCD(16)相对应,物镜(6)垂直设置在直线扫描系统中的载物台(5)上方。
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