[实用新型]石墨热场的热屏与气体导流装置无效

专利信息
申请号: 200920142768.7 申请日: 2009-01-19
公开(公告)号: CN201567388U 公开(公告)日: 2010-09-01
发明(设计)人: 马四海;张笑天 申请(专利权)人: 芜湖升阳光电科技有限公司
主分类号: C30B15/14 分类号: C30B15/14
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 241100 *** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种石墨热场的热屏与气体导流装置,所述的石墨热场的热屏与气体导流装置上设热屏外层(3)和热屏内层(1),所述的热屏外层(3)与热屏内层(1)之间设有间隙。采用上述技术方案,采用斜面反射角度,使得热辐射的反射率增加;增加了热屏中下部热屏外层与内层的间隙,得以填充石墨碳毡,增加热屏的绝热效果。由20寸传统热封闭式场维持1420°的拉制条件需要每小时耗费70~75kw·h降低至60~65kw·h,节能超过10%;填充2~3层石墨碳毡增加了隔热性能,改变了单晶生长时,晶体的纵向温度梯度,相对传统封闭式热场,拉速增加0.05mm/min。提高了设备生产产能,降低生产成本。
搜索关键词: 石墨 气体 导流 装置
【主权项】:
一种石墨热场的热屏与气体导流装置,其特征在于:所述的石墨热场的热屏与气体导流装置上设热屏外层(3)和热屏内层(1),所述的热屏外层(3)与热屏内层(1)之间设有间隙。
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