[实用新型]薄膜沉积设备的布气装置无效
| 申请号： | 200920144438.1 | 申请日： | 2009-02-23 |
| 公开（公告）号： | CN201495314U | 公开（公告）日： | 2010-06-02 |
| 发明（设计）人： | 杨与胜;杨娜;林朝晖;王菘 | 申请（专利权）人： | 福建钧石能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/14 | 分类号： | C30B25/14;C23C16/455;H01L21/205 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建省泉州市*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜沉积设备的布气装置，包括进气口和输气管道，所述输气管道上设置有复数个出气孔，沿距所述进气口由近至远的方向，所述出气孔的孔径逐渐增大，和/或沿距所述进气口由近至远的方向，所述出气孔的密度逐渐增加。本实用新型的薄膜沉积设备的布气装置能够显著提高反应箱中气体分布的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 沉积 设备 装置 | ||
【主权项】：
一种薄膜沉积设备的布气装置，包括进气口和输气管道，所述输气管道上设置有复数个出气孔，其特征在于：沿距所述进气口由近至远的方向，所述出气孔的孔径逐渐增大。
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