[实用新型]半导体研磨清洁装置

摘要

一种半导体研磨清洁装置，应用于化学机械研磨制程中，借以清洁晶圆的表面，而该研磨清洁装置包括有一底座体以及三个设置于该底座体上的刷头元件，该底座体的两端接合所述刷头元件，而该底座体两端之间接合有一个刷头元件，其中该三个刷头元件位于同一平面，且接合于该底座体两端的刷头元件的排列方向垂直于位于该底座体两端之间的刷头元件的排列方向。本实用新型在化学机械研磨制程中，提供清洁的功能且能与目前业界使用的化学机械研磨设备互相组装结合，故更方便使用；对于不同尺寸晶圆皆可应用本实用新型的半导体研磨清洁装置来加以清洁晶圆平坦研磨中的表面。

主权项

1、一种半导体研磨清洁装置，应用于化学机械研磨制程中，该半导体研磨清洁装置接触一晶圆的表面，以清洁该晶圆平坦研磨中的表面，其特征在于，该半导体研磨清洁装置包含有：一底座体；以及三个刷头元件，间隔地设置于所述底座体上，且该三个刷头元件皆位于同一平面并接触该晶圆的表面，其中设置于所述底座体上的该三个刷头元件呈现出十字形方向排列。