[实用新型]用于晶圆片研磨垫的整理器无效
| 申请号： | 200920159273.5 | 申请日： | 2009-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN201432248Y | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 官大发 | 申请（专利权）人： | 葳明科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B53/02 | 分类号： | B24B53/02;B24B53/12;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 梁 挥;张燕华 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于晶圆片研磨垫的整理器，包括承座、伸缩机构及旋转机构，承座包含腔室及第一轴孔，伸缩机构包含移动件、至少二支撑柱及座板，移动件及座板分别开设有相互对应的第二轴孔及第三轴孔，旋转机构包含旋转轴及轴接组件，旋转轴依序穿接第一轴孔、第二轴孔及第三轴孔，以使旋转轴跟随移动件作线性移动；为此，旋转轴再连接整理垫，其旋转面恒保持与研磨垫平行，避免使研磨垫表面的修整不完善，甚至造成研磨垫损伤而导致晶圆刮伤，且整理器与研磨垫间的垂直距离可调整。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 晶圆片 研磨 整理 | ||
【主权项】：
1、一种用于晶圆片研磨垫的整理器，其特征在于，包括：一承座(10)，包含一腔室(11)及与该腔室(11)相通的一第一轴孔(12)；一伸缩机构(20)，包含容置在该腔室内(11)的一移动件(21)、固定于该移动件(21)的至少二支撑柱(22)及连接于该二支撑柱(22)的一座板(23)，该移动件(21)及该座板(23)分别开设有相互对应的一第二轴孔(24)及一第三轴孔(25)；以及一旋转机构(30)，包含一旋转轴(31)及一轴接组件(32)，该旋转轴(31)依序穿接该第一轴孔(12)、该第二轴孔(24)及该第三轴孔(25)，该轴接组件(32)夹掣在该旋转轴(31)及该移动件(21)之间，以使该旋转轴(31)跟随该移动件(21)作线性移动。
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