[实用新型]一种带吸尘系统的刻膜机有效
申请号: | 200920160204.6 | 申请日: | 2009-06-19 |
公开(公告)号: | CN201490217U | 公开(公告)日: | 2010-05-26 |
发明(设计)人: | 何成鹏 | 申请(专利权)人: | 武汉三工光电设备制造有限公司 |
主分类号: | H01L31/20 | 分类号: | H01L31/20;A47L5/20;A47L7/00;B23K26/36 |
代理公司: | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人: | 杨立 |
地址: | 430223 湖北省武*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种带吸尘系统的刻膜机,包括龙门钢架,与所述龙门钢架相连的激光头,与所述激光头相连的分光箱,位于所述分光箱下方的非晶硅电池,所述非晶硅电池设置于超净工作台之上,所述带吸尘系统的刻膜机还包括吸尘系统,所述吸尘系统与所述超净工作台相连接。本实用新型带吸尘系统的刻膜机通过吸尘系统将非晶硅太阳能电池生产过程中产生的大部分粉尘吸收,然后通过除尘系统集中处理,提高了除尘系统除尘的效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 吸尘 系统 刻膜机 | ||
【主权项】:
一种带吸尘系统的刻膜机,包括龙门钢架(7),与所述龙门钢架(7)相连的激光头(8),与所述激光头(8)相连的分光箱(9),位于所述分光箱(9)下方的非晶硅电池(2),所述非晶硅电池(2)设置于超净工作台(3)之上,其特征在于,所述带吸尘系统的刻膜机还包括吸尘系统,所述吸尘系统与所述超净工作台(3)相连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的