[实用新型]数控多晶硅硅芯多线切割机床

摘要

一种采用金刚石线的数控多晶硅硅芯多线切割机床，切出的硅芯用于改良西门子法或硅烷法生产大直径多晶硅用的还原炉。其切割方法是利用电镀金刚石线在工件上高速地往复运动或单向移动，将工件压在用金刚石线交叉组成的方形或菱形的线网上，将工件切割成细长的硅芯。工件固定在机床的上部，绕有金刚石线的口字型切割导轮组件从下往上移动而完成切割。使用一种独特的布线方案，布线和操作只需在地面完成，无需上工作平台，大大降低操作难度和提高工作效率，安全性好。工件上方装有超声波换能器，使工件产生微颤，提高了金刚石线的切削能力，又使加工切削下来的微粒可快速地被冷却水冲下，加工速度得到明显提高。

主权项

数控多晶硅硅芯多线切割机床，由机床立柱、底座、口字型切割导轮组件、工作台升降机构、工件装载夹持装置和收放线绕线张力控制机构等部分组成，所述口字型切割导轮组件包括钢制圆滚筒和多层导向轮，其特征在于，多层导向轮采用倾斜一定角度。