[实用新型]一种柔性基材卷绕镀膜机的冷鼓系统

摘要

本实用新型属于真空镀膜技术领域，特别涉及一种柔性基材镀膜机的冷鼓系统。目的是提供一种易于使用的冷鼓系统。它包括：冷鼓轴(14)、焊接于冷鼓轴(14)上的圆柱形冷鼓(15)、进出水隔离管(9)；冷鼓(15)整体为圆柱形，其柱面的外表面为一层金属材料，此材料具有外磨光镀铬层(4)和内抛光层(5)；紧贴着此金属材料层为水冷夹层，夹层中安装等距螺旋槽(10)水冷；冷鼓轴(14)两端固定于真空室大门板(13)上。优点是：经过外表面镀硬铬和水冷用等距螺旋槽的合理配置，以及冷鼓安装后多次校验动平衡，冷鼓工作时冷却因等离子体放电或蒸发镀膜所带来的热量使柔性基材表面温度均匀性为±5％，达到均匀冷却的目的。

主权项

一种柔性基材卷绕镀膜机的冷鼓系统，其特征在于：所述的冷鼓系统包括：冷鼓轴(14)、焊接于冷鼓轴(14)上的圆柱形冷鼓(15)、真空室大门板(13)、磁流体密封(6)、同步带轮(7)、旋转接头(8)、进出水隔离管(9)；冷鼓(15)整体为圆柱形，内部密封，工作时抽真空处理，冷鼓内侧焊接有2块内部密封检漏支撑板(1)；其柱面的外表面为一层金属材料，此材料具有外磨光镀铬层(4)和内抛光层(5)；紧贴着此金属材料层为水冷夹层，夹层中安装等距螺旋槽(10)水冷，等距螺旋槽(10)中的水来自于焊接的4支路同向旋转夹层水道(2)，同向旋转夹层水道(2)的进出水支路分别有4个，远离真空室大门板(13)的4个支路为进水支路，靠近真空室大门板(13)的4个支路为出水支路；冷鼓轴(14)为中空结构，其中安装有进出水隔离管(9)，进出水隔离管(9)的外径小于冷鼓轴(14)空腔的直径，在冷鼓轴(14)中形成了两个水流通道，进出水隔离管(9)内部为冷却水流进入的通道，与同向旋转夹层水道(2)的进水支路相通；进出水隔离管(9)外壁和冷鼓轴(14)内壁之间的空间为冷却水流出的通道，与同向旋转夹层水道(2)的出水支路相通；同向旋转夹层水道(2)的进水支路和出水支路上均包含软波纹管(3)；冷鼓轴(14)两端用高精度轴承定位安装在固定于真空室大门板(13)的两个母板上，轴头伸出真空室外，用磁流体密封(6)进行真空密封。