[实用新型]一种CZ直拉单晶法真空泵无效
| 申请号： | 200920172290.2 | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN201425010Y | 公开（公告）日： | 2010-03-17 |
| 发明（设计）人： | 马四海;张笑天 | 申请（专利权）人： | 芜湖升阳光电科技有限公司 |
| 主分类号： | F04B37/14 | 分类号： | F04B37/14;F04B39/00 |
| 代理公司： | 芜湖安汇知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蒋光恩 |
| 地址： | 241100安徽省*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种CZ直拉单晶法真空泵，所述的真空泵下部设有避震装置，所述的避震装置包括槽钢底架(1)及避震结构，所述的避震结构为：在所述的槽钢底架(1)上方，设由柔性材料制成的上避震模块(2)；在所述的槽钢底架(1)下方，设由柔性材料制成的下避震模块(3)。采用上述技术方案，采用两级避震方式，更大幅度的降低真空泵的震动；采用新型的聚乙烯树脂棒作为主要避震方式，相对橡胶避震材料效果更佳。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 cz 直拉单晶法 真空泵 | ||
【主权项】：
1、一种CZ直拉单晶法真空泵，所述的真空泵下部设有避震装置，所述的避震装置包括槽钢底架(1)及避震结构，其特征在于：所述的避震结构为：在所述的槽钢底架(1)上方，设由柔性材料制成的上避震模块(2)；在所述的槽钢底架(1)下方，设由柔性材料制成的下避震模块(3)。
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