[实用新型]光电子器件用微机电系统芯片测试台有效
| 申请号： | 200920172985.0 | 申请日： | 2009-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN201488869U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 涂化;丁必锋 | 申请（专利权）人： | 北京波联汇成科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01R31/00 |
| 代理公司： | 北京市合德专利事务所 11244 | 代理人： | 李本源 |
| 地址： | 100084 北京市海淀*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种光电子器件用微机电系统芯片测试台，主要包括光束纤准直器、输入光纤、输出光纤、托盘和五维调节架五部分，其中输入光纤和输出光纤连接在光束准直器上，光束准直器固定在支撑架上，待测芯片固定在底座上后放置在托盘上，托盘通过连接杆a固定在固定夹块上，固定夹块通过连接杆b固定在五维调节架上，支撑架和五维调节架固定在底盘上；光信号通过输入光纤进入光束准直器，照射在待测芯片上，再通过光束准直器反射回输出光纤。本实用新型测试台不仅效率高、可靠性好，而且成本低廉，由于采用了光束准直器和五维调节架，可使光纤最大程度的得到反射，进而可以准确的测试出微机电系统芯片的光学性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 光电子 器件 微机 系统 芯片 测试 | ||
【主权项】：
一种光电子器件用微机电系统芯片测试台，主要包括光束纤准直器、输入光纤、输出光纤、托盘和五维调节架五部分，其特征在于：输入光纤和输出光纤连接在光束准直器上，光束准直器固定在支撑架上，待测芯片固定在底座上后放置在托盘上，托盘通过连接杆a固定在固定夹块上，固定夹块通过连接杆b固定在五维调节架上，支撑架和五维调节架固定在底盘上；光信号通过输入光纤进入光束准直器，照射在待测芯片上，再通过光束准直器反射回输出光纤。
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