[实用新型]二元光学组件横向制作装置无效
| 申请号： | 200920185510.5 | 申请日： | 2009-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN201421542Y | 公开（公告）日： | 2010-03-10 |
| 发明（设计）人： | 陈敏;高益庆;肖孟超;罗宁宁;海霞 | 申请（专利权）人： | 南昌航空大学 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 南昌洪达专利事务所 | 代理人： | 刘凌峰 |
| 地址： | 330000江西省南*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 一种二元光学组件横向制作装置，它包括计算机、数字微镜器、树脂槽、精缩投影透镜、精密电控平台、防震平台、固化光源，其特征是固化光源照射数字微镜器，计算机连接数字微镜器，数字微镜器与树脂槽之间固定连有精缩投影透镜，树脂槽内连有精密电控平台，树脂槽安放在防震平台上。本实用新型的技术效果是：1.不存在用多个二元光学元件组装系统时的对准误差；2.采用DMD像素化图像具有微米级的精度；3.相对于激光或电子束直写法具有更经济，速度更快的优点；4.无须作多次套刻，不存在套刻的对准误差；5.不存在纵向分层时，由于树脂层表面的不平对二元光学元件工作面刻蚀带来的误差。 | ||
| 搜索关键词： | 二元 光学 组件 横向 制作 装置 | ||
【主权项】：
1、一种二元光学组件横向制作装置，它包括计算机、数字微镜器、树脂槽、精缩投影透镜、精密电控平台、防震平台、固化光源，其特征是固化光源照射数字微镜器，计算机连接数字微镜器，数字微镜器与树脂槽之间固定连有精缩投影透镜，树脂槽内置有精密电控平台，树脂槽安放在防震平台上。
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