[实用新型]磁控溅射靶

摘要

本实用新型提供的一种生产太阳能电池的磁控溅射靶，包括铝制的矩形腔体(1)、密封圈(4)以及覆盖并固定在矩形腔体(1)上端的铜板(3)，内装溅射强磁铁(6)，腔体底部连接金属水管路(5、7)，溅射靶的工作电源输入线路是并接在金属水管路上。其特征是在铜板(3)的下表面覆设有含钛的金属保护膜(2)，或是与钛的标准电极电势相接近的金属保护膜。由于钛在碱性溶液中的标准电极电势为-1.63V，铝的标准电势为-1.28V，钛与铝的标准电极电势非常接近，钛膜层与铝制腔体将是纯金属接触，它们之间很难产生化学腐蚀，钛膜层起到隔离层的作用，保护了铝制腔体，提高铝制腔体的耐腐蚀性，因此也将极大的提高溅射靶的寿命，降低成本。

主权项

一种磁控溅射靶，包括铝制的矩形腔体(1)、密封圈(4)以及覆盖并固定在矩形腔体(1)上端的铜板(3)，其特征是在与矩形腔体(1)相接触的铜板(3)的表面覆设有含钛的金属保护膜(2)。