[实用新型]干法硅片自动插片机

摘要

干法硅片自动插片机，包括机架以及安装于机架上的提升机构，其特征在于机架上安装往复进给机构以及皮带传送机构，皮带传送机构包括与动力源连接的主轴，主轴左右两端分别装有从动轮，输送硅片的传输带与所述从动轮及传动轮连接，所述皮带经过将硅片输送入硅片插片盒的导向槽；往复进给机构包括连杆，连杆分别与连杆座、凸轮、下连杆座铰接，凸轮与动力源连接，滑块穿过所述凸轮以及连杆，滑块、凸轮以及连杆通过两个螺母、一个双头螺栓在轴向固定。本实用新型利用皮带传送机构实现硅片的自动插片，插片效率高且破损率低。

主权项

干法硅片自动插片机，包括机架，机架上安装有硅片插片盒的提升机构，其特征在于：所述机架上还安装有往复进给机构，所述往复进给机构上部连接皮带传送机构，所述皮带传送机构包括与动力源连接的主轴，所述主轴左右两端分别装有从动轮，输送硅片的传输带与所述从动轮及传动轮连接，所述皮带经过将硅片输送入硅片插片盒的导向槽；所述往复进给机构的结构如下：连杆分别与连杆座、凸轮、下连杆座铰接，所述凸轮与动力源连接，滑块与所述凸轮固连并穿过所述连杆，所述滑块、凸轮以及连杆通过两个螺母、一个双头螺栓在轴向固定。