[实用新型]高频短臂探针卡

摘要

本实用新型涉及一种应用于半导体晶元测试领域中的高频探针卡，其包括：电路板；探针固定座，设于电路板的下表面上并用于接地，具有良好的导电性；多根信号探针；多根接地探针；接地探针和信号探针均包括针尖、探针臂、固定部以及探针尾部，多根接地探针的固定部和探针尾部通过导电黏着剂固定在探针固定座上，多根信号探针的固定部通过绝缘粘结剂固定于接地探针的下方，多根信号探针形成一信号探针层，多根接地探针形成接地屏蔽层，并且所述的接地屏蔽层与所述的探针固定座共同构成遮挡在所述的信号探针层外围的屏蔽罩，从而防止来自于外界的信号对于信号探针传输内容的影响，因此保证了高频传输信号的完整性。

主权项

一种高频短臂探针卡，包括：电路板，所述的电路板上布设有电子电路，并于该电路板的上表面上设有多个与测试机台相电气连接的测试接点，而该电路板的下表面上设置有多个焊点；探针固定座，所述的探针固定座设置于所述的电路板的下表面上并用于接地，所述的探针固定座具有良好的导电性；多根信号探针，所述的信号探针的一端部与待测物电气接触，另一端部焊接在所述的电路板上的焊点上；多根接地探针，所述的接地探针的一端部与待测物电气接触，所述的接地探针和信号探针均包括针尖、大致沿水平方向延伸的探针臂、用于连接所述的探针固定座的固定部以及探针尾部，其特征在于：多根所述的接地探针的固定部和探针尾部均通过导电黏着剂固定在所述的探针固定座上，多根所述的信号探针的固定部通过绝缘粘结剂固定于所述的接地探针的下方，多根所述的信号探针形成一信号探针层，多根所述的接地探针形成附于所述的探针固定座表面的接地屏蔽层，并且所述的接地屏蔽层与所述的探针固定座共同构成遮挡在所述的信号探针层外围的接地屏蔽罩。