[实用新型]升降位置调节装置无效
申请号: | 200920193384.8 | 申请日: | 2009-08-25 |
公开(公告)号: | CN201540879U | 公开(公告)日: | 2010-08-04 |
发明(设计)人: | 杨明生;刘惠森;范继良;雷振宇;王曼媛;王勇 | 申请(专利权)人: | 东莞宏威数码机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00;F16H25/20 |
代理公司: | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523018 广东省东莞市南城区宏*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种升降位置调节装置,包括驱动机构、驱动机构固定板、导向板、花键轴、花键套、推动轴及推动板,所述驱动机构与所述驱动机构固定板固定连接,所述花键套安装于所述导向板上,所述花键轴的一端与所述驱动机构固定板固定连接,另一端滑动的穿过所述花键套并与腔体固定连接,所述驱动机构的驱动轴与所述导向板连接,所述推动轴的一端与所述导向板固定连接,另一端伸入所述腔体并与所述推动板固定连接,所述推动板位于所述腔体内,所述驱动机构固定板、导向板及推动板相互平行。由于本实用新型采用驱动机构驱动导向板作直线往复运动,从而带动所述推动板作直线往复运动,结构简单紧凑、成本较低、占用空间较小并且使用过程中噪音较小。 | ||
搜索关键词: | 升降 位置 调节 装置 | ||
【主权项】:
一种升降位置调节装置,适用于对腔体内的器件进行升降位置调节,其特征在于:所述升降位置调节装置包括驱动机构、驱动机构固定板、导向板、花键轴、花键套、推动轴及推动板,所述驱动机构与所述驱动机构固定板固定连接,所述花键套安装于所述导向板上,所述花键轴的一端与所述驱动机构固定板固定连接,所述花键轴的另一端滑动的穿过所述花键套并与所述腔体固定连接,所述驱动机构的驱动轴与所述导向板连接,所述推动轴的一端与所述导向板固定连接,所述推动轴的另一端伸入所述腔体并与所述推动板固定连接,所述推动板位于所述腔体内,所述驱动机构固定板、导向板及推动板相互平行,所述驱动机构驱动所述导向板作直线往复运动,所述导向板带动所述推动板作直线往复运动。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造