[实用新型]一种筒式单晶炉的石墨热场无效
| 申请号： | 200920199720.X | 申请日： | 2009-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN201574211U | 公开（公告）日： | 2010-09-08 |
| 发明（设计）人： | 方汉春 | 申请（专利权）人： | 方汉春 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 舒良 |
| 地址： | 324300 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种筒式单晶炉的石墨热场，用于拉制单晶硅棒，其保温筒位于加热器外，分成上、中、下三层，上、中、下三层呈塔形，且下层设置在炉底护盘上；石英坩埚和石墨坩埚位于加热器内；导流筒位于石英坩埚和石墨坩埚之上，以及保温筒内；采用本实用新型，由于相对缩小了保温筒的上层空间，可增强保温效果，有利于节能，在上、中层之间形成理想的温度梯度，而且相对扩展了下层的空间，使气流畅通，利于清除杂质，因此能提高产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 筒式单晶炉 石墨 | ||
【主权项】：
一种筒式单晶炉的石墨热场，包括保温筒、导流筒、加热器、石墨坩埚、石英坩埚、炉底护盘；石英坩埚和石墨坩埚位于加热器内；保温筒位于加热器外，且设置在炉底护盘上；导流筒位于石英坩埚和石墨坩埚之上，以及保温筒内；其特征在于该保温筒分上、中、下三层，且上、中、下三层呈塔形，即上层最小，中层其次，下层最大。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于方汉春，未经方汉春许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920199720.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
