[实用新型]一种带有提升和旋转机构的拉晶炉无效
申请号: | 200920202725.3 | 申请日: | 2009-12-16 |
公开(公告)号: | CN201605352U | 公开(公告)日: | 2010-10-13 |
发明(设计)人: | 李乔;马远 | 申请(专利权)人: | 浙江碧晶科技有限公司 |
主分类号: | C30B15/30 | 分类号: | C30B15/30 |
代理公司: | 杭州天勤知识产权代理有限公司 33224 | 代理人: | 胡红娟 |
地址: | 312300 *** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种带提升和旋转机构的拉晶炉,包括炉体以及炉体上方的副室,所述的提升和旋转机构包括:位于副室顶部的旋转头;位于副室内的可相对炉体转动的若干滑杆;可沿滑杆运动的滑块,滑块通过籽晶绳与旋转头连接;位于滑块底面的籽晶夹头。该拉晶炉通过滑杆和滑块的固定作用,可以有效避免籽晶绳的抖动和晃动现象,并可以实现需要大扭力的操作,扩大了采用CZ法进行晶体生长的工艺范围,并且能够在晶体周围气流不稳定或外界有较大振源时,实现稳定的晶体生长。 | ||
搜索关键词: | 一种 带有 提升 旋转 机构 拉晶炉 | ||
【主权项】:
一种带提升和旋转机构的拉晶炉,包括炉体(2)以及炉体(2)上方的副室(1),其特征在于,所述的提升和旋转机构包括:位于副室(1)顶部的旋转头(3);位于副室(1)内的可相对炉体(2)转动的若干滑杆(12);可沿滑杆(12)运动的滑块(10),滑块(10)通过籽晶绳(9)与旋转头(3)连接;位于滑块(10)底面的籽晶夹头(6)。
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