[实用新型]全自动多功能传感器几何测量系统

摘要

本实用新型涉及一种全自动多功能传感器几何测量系统，包括底座、X向工作台以及Y向工作台；立柱、防护外罩壳体以及Z向工作台；因Z向工作台包括滑轨座、Z轴升降传动台组、Z轴高精密直线导轨、Z轴精密光栅尺、Z向升降移动台、光学影像集成装置、滑板、LED程控照明装置、探针触发测头、CCD激光位移传感器。使用时，将所有目标物体放置于玻璃载物台上面，再利用本系统中的全闭环运动控制系统、光学影像集成装置、CCD激光位移传感器、探针触发测头，能够实现各几何测量，平面度测量，表面粗糙度测量，形位公差测量的测量工作，从而达到其具有功能强大、精度高、自动化程度高、操作简单、性价比优、结构设计合理、构件选材独特优良以及适用范围广阔。

主权项

一种全自动多功能传感器几何测量系统，包括底座、安装于底座上的X向工作台以及安装于X向工作台底部的Y向工作台；垂直竖立安装于底座上的立柱、安装于立柱上端的防护外罩壳体以及安装于立柱与防护外罩壳体之间的Z向工作台；其特征在于：所述的Z向工作台包括固定于防护外罩壳体顶部的滑轨座、与滑轨座连接的Z轴升降传动台组、设置于Z轴升降传动台组一侧部的Z轴高精密直线导轨、设置于Z轴升降传动台组另一侧部的Z轴精密光栅尺、安装于Z轴升降传动台组底端的Z向升降移动台、设置于Z向升降移动台外侧的光学影像集成装置、安装于Z向升降移动工作台底部的滑板、穿过于滑板上的光学影像集成装置尾端连接的LED程控照明装置、安装于LED程控照明装置一侧部的与滑板连接一起的探针触发测头、安装于LED程控照明装置另一侧部的与中间隔板连接一起的CCD激光位移传感器。