[实用新型]一种新型结构平面磁控溅射靶无效
| 申请号： | 200920205480.X | 申请日： | 2009-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN201506830U | 公开（公告）日： | 2010-06-16 |
| 发明（设计）人： | 王宇;张强 | 申请（专利权）人： | 深圳市振恒昌实业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种新型结构平面磁控溅射靶，主要包括靶体装置和座体装置，靶体装置包括靶体、安装在靶体上的铁板、铝板、置于铝板和靶体围成轨道上的磁铁、再顺次安装的铜压板、靶材，座体装置包括密封座、套装在密封座外圈的密封绝缘套；其特征是：所述靶材紧贴安装在铜板上，并用压条压好，用螺钉固定，所述磁铁分为分为中间部分和外端部分。本实用新型在结构上采取优化设计，靶材紧贴铜压板安装，水冷效果显著，更换靶材时只需将压条上的螺钉拆卸即可，克服了直接水冷靶更换靶材时漏水的缺点，并且此种结构只有在更换磁铁时才会拆卸密封位置，大幅度的减少了密封位置的拆卸次数，降低了因拆卸而划伤密封面的概率，提高了靶的使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 结构 平面 磁控溅射 | ||
【主权项】：
一种新型结构平面磁控溅射靶，主要包括靶体装置和座体装置，靶体装置包括靶体(3)、安装在靶体(3)上的铁板(4)、铝板(5)、放置于铝板(5)和靶体(3)围成的轨道上的磁铁、再顺次安装的铜压板(6)、靶材(7)，座体装置包括密封座(8)、套装在密封座(8)外圈的密封绝缘套(9)、套装在外侧的法兰(11)、绝缘套(13)；其特征是：所述靶材(7)紧贴安装在铜压板(6)上，并用压条压好，用螺钉固定，所述磁铁分为分为中间部分(21)和外端部分(22)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市振恒昌实业有限公司，未经深圳市振恒昌实业有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200920205480.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
