[实用新型]一种晶圆输送盒有效
| 申请号： | 200920209241.1 | 申请日： | 2009-09-04 |
| 公开（公告）号： | CN201489023U | 公开（公告）日： | 2010-05-26 |
| 发明（设计）人： | 郑雅文;马瑾怡;马笃林;王晓韬 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/26;G01R27/02;G01N27/04 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种晶圆输送盒，包括：第一挡板、第二挡板，以及连接所述第一挡板和所述第二挡板的第一手柄，其特征在于，在所述第一挡板上还设置有第一通孔。解决了现有技术中晶圆加热和冷却速度慢的问题，能提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 输送 | ||
【主权项】：
一种晶圆输送盒，包括：第一挡板、第二挡板，以及连接所述第一挡板(206a)和所述第二挡板的第一手柄，其特征在于，在所述第一挡板上还设置有第一通孔。
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