[实用新型]多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统无效
| 申请号： | 200920210347.3 | 申请日： | 2009-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN201618701U | 公开（公告）日： | 2010-11-03 |
| 发明（设计）人： | 金悦 | 申请（专利权）人： | 上海昕通半导体设备有限公司;上海正帆科技有限公司;上海亿欣电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所 31233 | 代理人： | 宋缨;孙健 |
| 地址： | 201600 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统，包括气瓶柜、吹扫系统和气动控制管路，其特征在于：所述的气瓶柜至少为2个，所述的吹扫系统为分别与每个气瓶柜相连的独立输送吹扫装置，所述的气瓶柜通过气动控制管路和独立输送吹扫装置与集中控制单元连接，吹扫系统中的吹扫氮气从中央控制箱内输出。本实用新型操作方便：可以通过预设编程，采取按报警影响区域进行控制，提高气体房安全系数。降低了生产成本，可优化电控部件配置，当需要与远程电脑通讯时，集中控制相比传统气瓶柜更具有优势。 | ||
| 搜索关键词： | 多气种 高纯 气体 集中控制 独立 系统 | ||
【主权项】：
一种多气种高纯气体集中控制独立吹扫系统，包括气瓶柜、吹扫系统和气动控制管路，其特征在于：所述的气瓶柜至少为2个，所述的吹扫系统为分别与每个气瓶柜相连的独立输送吹扫装置，所述的气瓶柜通过气动控制管路和独立输送吹扫装置与集中控制单元连接，吹扫系统中的吹扫氮气从中央控制箱内输出。
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