[实用新型]样品台有效
| 申请号： | 200920212175.3 | 申请日： | 2009-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN201532929U | 公开（公告）日： | 2010-07-21 |
| 发明（设计）人： | 虞勤琴;李明;齐瑞娟;杨卫明 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | H01J49/02 | 分类号： | H01J49/02;G01N23/227 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型揭露了一种样品台，所述样品台包括底座以及设置于所述底座上的载物台，所述载物台的载物面与水平面具有一个夹角。使用本实用新型所提供的样品台进行俄歇电子能谱仪分析时可使俄歇电子直接垂直进入能量分析器，简化了操作程序，节约了工作时间，提高了工作效率，同时能够保证样品分析角度的一致性，提高了重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 | ||
【主权项】：
一种样品台，其特征在于，包括底座以及设置于所述底座上的载物台，所述载物台的载物面与水平面具有一夹角。
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