[实用新型]湿法清洗设备有效
| 申请号： | 200920213424.0 | 申请日： | 2009-12-15 |
| 公开（公告）号： | CN201603713U | 公开（公告）日： | 2010-10-13 |
| 发明（设计）人： | 朱建野;曾辉;杜亮;杨永刚 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 谢安昆;宋志强 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种湿法清洗设备，包括化学清洗槽、漂洗槽以及位于化学清洗槽和漂洗槽之间的排水槽，排水槽中央凹陷，排水槽非凹陷部分的边沿分别接合化学清洗槽和漂洗槽；所述排水槽靠近漂洗槽一侧的边沿上，还包括突出排水槽非凹陷部分上表面的挡水条，所述挡水条的长度等于漂洗槽边沿的长度，用于防止排水槽上表面的液滴落入漂洗槽中。本实用新型方案可以防止混有光刻胶颗粒的液滴流入漂洗槽而带来污染。 | ||
| 搜索关键词： | 湿法 清洗 设备 | ||
【主权项】：
一种湿法清洗设备，包括化学清洗槽、漂洗槽以及位于化学清洗槽和漂洗槽之间的排水槽，排水槽中央凹陷，排水槽非凹陷部分的边沿分别接合化学清洗槽和漂洗槽；其特征在于，所述排水槽靠近漂洗槽一侧的边沿上，还包括突出排水槽非凹陷部分上表面的挡水条，所述挡水条的长度等于漂洗槽边沿的长度，用于防止排水槽上表面的液滴落入漂洗槽中。
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